場發射掃描式電子顯微鏡
Thermal Field Emission Scanning Electron Microscope
本設備之最大放大倍率可達六十五萬
倍，為高解析度場發射掃描式電子顯
微鏡。電子槍為熱發射schottky型式，
具高解析度及高擴充性之電子顯微鏡
。本顯微鏡解析度高達1.2 nm (30 kV
)、3.0 nm (1 kV)，可直接觀察樣本二
次電子影像(SEI)之表面形態。本顯微
鏡同時配置有反射電子偵測器(Semic-
conductor Backscattered Electron
Dectector)可提供分析樣本之成分
(composition)與表面高程(topography)
影像。另外並有微區元素能量分析儀
(X-ray Energy Dispersive
Spectrometer，EDS)，可對樣本做進
一步之微區元素成分定性及半定量分
析工作。
