四、服務項目

1. SEM：樣本表面之觀察及照相。

2. BEI：成分與表面高程影像之觀察及照相。

3. EDS：原子序5以上之元素的全能譜，單點分析、line profile及mapping。

五、機台開放時間

開放時段：每天分為二個時段，其開放時間表如下所示：

¨    第一操作時段 09：30～12：00

¨    第二操作時段 13：30～17：00

六、申請使用辦法

本機台之使用分為委託操作及自行操作兩方式。

1.預約方式

¨    請上國立中央大學地球科學系暨地球物理研究所網站下載申請表格(如附件一)，填寫後繳交至地科系SEM實驗室技術員處。首次欲使用本儀器，請事先與技術人員接洽相關事宜。

n         非地科系(院)委託與自行操作者，須於二星期前預約。

n         地科系(院)委託與自行操作者，於每月底開放登記下月時段。

¨    已完成預約若欲取消，請於操作前24小時通知，否則費用照計。

¨    於預約時段內遲到半小時以上，則該預約視為放棄，由其他使用者替補，使用費照計。

2.樣品準備須知

¨    試片之製作由使用者自理。

¨    樣品需乾燥，在真空中無揮發性。在電子束照射下會分解或釋放氣體之樣品，因有礙必要之真空維持，恕不受理。

¨    如為非金屬、粉體試體，請先做蒸鍍及固定處理。　　

¨    本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試體。

¨    樣品載台不外借，申請者可自行購買SEM載台，或提早前來準備黏製試片。

七、收費標準

地科系及地科院使用者不收費，其餘使用者收費標準如下。

八、實驗室經費

SEM實驗室之收入納為地科系基金。SEM實驗室之維護、實驗室設備維修及耗材，由地科系經費支出。

九、自行操作機台訓練及檢定實施辦法

1.訓練內容：依照本儀器作業標準內容實施。

2.實習學員：同一訓練時段，最多二人為限。

3.非地科系(院)使用者：請直接與SEM實驗室技術員處接洽。

4.使用執照頒發辦法：

經檢定合格者才能自行操作FE-SEM。檢定步驟如下：

A：未曾操作過SEM者

n         須上訓練課程達25小時以上，且經過技術員認可(如附件二)。

n         參加過訓練課程後，須於兩個月內具6小時實習紀錄。

n         每月底向技術員申請資格檢定，含筆試及上機考試。

       B：熟習SEM操作，但未曾使用本機台者

n         須上訓練課程達6小時以上，且經過技術員認可。

n         參加過訓練課程後，須於兩個月內具6小時實習紀錄。

n         每月底向技術員申請資格檢定，含筆試及上機考試。

十、儀器維護及提供檢測服務之人員

儀器維護等相關事宜的聯繫及檢測服務，由儀器負責教授指派專人擔任。

十一、其他相關規定

1.如對本設備有特別需求，可與管理者反應，經提報設備負責人同意後執行。

2.預約使用必須本人到場，若有責任歸屬問題，該時段預約者需負全責。

3.因故被取消使用資格者，須再通過檢定考核，才可恢復使用資格。

4.未經預約即自行操作，必須繳交三倍使用時間之金額，並永久取消該使用者資格。

5.未經許可私自帶走本實驗室任何物品者，提報指導教授與實驗室負責人另議懲處。

6.操作機台時必須詳實填寫使用記錄表，若機台發生異狀需詳實填寫狀況、初步應變措施並盡快通知管理者處理，若因延遲申報造成機台損毀，視為該使用者之責任。

7.使用者必須遵守操作規範（如操作手冊），不屬正常操作機台的行為一概禁止，如有不當使用之行為，將被停權三個月，若有毀損儀器將負修理賠償責任，並永久取消該使用者資格。

8.試片禁止使用混凝土、揮發性、油脂性，有破壞真空之試片，所有試片必須確保乾燥。若因試片準備不當造成真空系統污染，則永久取消該使用者資格，且提報指導教授與實驗室負責人另議懲處。

9.若有私下接受委託操作之行為而未登記者，合格使用者與委託者永久取消其使用資格，並提報其指導教授與實驗室負責人另議懲處。